金融界2025年7月29日消息，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，ASML荷蘭有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“載物臺(tái)”的專利，公開號(hào)CN120390982A，申請(qǐng)日期為2023年11月。
專利摘要顯示，一種可用于光刻設(shè)備中的載物臺(tái)。載物臺(tái)包括靜電夾具，該靜電夾具包括設(shè)置在絕緣層之間的至少一個(gè)電極。載物臺(tái)還包括第二夾具，其包括電連接的突節(jié)陣列，突節(jié)包括在突節(jié)的物體接收表面處的電阻材料層。
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